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자장 구조 변화에 따른 High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)에서 Al-doped ZnO 박막 증착 특성 박동희, 양정도, 최지원, 손영진, 최원국 Korean Journal of Materials Research, 20(12), 629, 2010 |
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자장 구조 변화에 따른 High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)에서 Al-doped ZnO 박막 증착 특성 박동희, 양정도, 최지원, 손영진, 최원국 Korean Journal of Materials Research, 20(12), 629, 2010 |