검색결과 : 1건
| No. | Article |
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저진공 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 김재권, 박주홍, 이성현, 노호섭, 주영우, 박연현, 김태진, 이제원 Korean Journal of Materials Research, 19(3), 132, 2009 |
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저진공 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 김재권, 박주홍, 이성현, 노호섭, 주영우, 박연현, 김태진, 이제원 Korean Journal of Materials Research, 19(3), 132, 2009 |