검색결과 : 1건
| No. | Article |
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차세대 노광공정용 Ta박막의 0.2μm 미세패턴 식각특성 연구 우상균, 김상훈, 주섭열, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(12), 819, 2000 |
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차세대 노광공정용 Ta박막의 0.2μm 미세패턴 식각특성 연구 우상균, 김상훈, 주섭열, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(12), 819, 2000 |