검색결과 : 2건
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N타입 결정질 실리콘 웨이퍼 두께 및 알루미늄 페이스트 도포량 변화에 따른 Bowing 및 Al doped p+ layer 형성 분석 박태준, 변종민, 김영도 Korean Journal of Materials Research, 25(1), 16, 2015 |
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Growth of GaN layer with preserved nano-columnar low temperature GaN buffer to reduce the wafer bowing Shin IS, Lee D, Lee KH, You H, Moon DY, Park J, Nanishi Y, Yoon E Thin Solid Films, 546, 118, 2013 |