검색결과 : 2건
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초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼의 건식 식각에서 알콜 첨가제의 효과 김도훈, 장명재, 임권택 Clean Technology, 18(3), 280, 2012 |
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The effects of diffusion coefficient on the etching process of sacrificial oxide layers Jin ZH, Wu CJ, Ma HL, Xu NN, Wang YL Thin Solid Films, 515(5), 3065, 2007 |