검색결과 : 2건
| No. | Article |
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Electrical, optical and micro-structural properties of ultra-thin HfTiON films Zhang JQ, Li ZX, Zhou H, Ye C, Wang H Applied Surface Science, 294, 58, 2014 |
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[기획특집-고부가 정보소재 개발 현황] 반도체 산업에서의 세라믹스 박막 소재 이전국 Prospectives of Industrial Chemistry, 5(2), 30, 2002 |