검색결과 : 3건
| No. | Article |
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초임계 이산화탄소를 이용한 미세전자기계시스템의 식각, 세정, 건조 연속 공정 민선기, 한갑수, 유성식 Korean Chemical Engineering Research, 53(5), 557, 2015 |
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[기획특집-초임계유체 활용기술] 초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정기술 한갑수, 임종성, 유기풍 Prospectives of Industrial Chemistry, 9(1), 2, 2006 |
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혼합 강전해질-혼합 용매계의 열역학적 모델 한갑수, 정완석, 이철수 HWAHAK KONGHAK, 27(5), 657, 1989 |