검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
TaCl5-C3H6-H2 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석 김현미, 최균, 심광보, 조남춘, 박종규 Korean Journal of Materials Research, 28(2), 75, 2018 |
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TaCl5-C3H6-H2 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석 김현미, 최균, 심광보, 조남춘, 박종규 Korean Journal of Materials Research, 28(2), 75, 2018 |