검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
BCl 3 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 임완태, 백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산, Pearton SJ Korean Journal of Materials Research, 13(4), 266, 2003 |
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BCl 3 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 임완태, 백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산, Pearton SJ Korean Journal of Materials Research, 13(4), 266, 2003 |