검색결과 : 4건
| No. | Article |
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고밀도 평판형 유도결합 BCl 3 /SF 6 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구 유승열, 류현우, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 이봉주, 고종수, 고정상, Pearton SJ Korean Journal of Materials Research, 15(3), 161, 2005 |
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BCl 3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 조관식, 임완태, 백인규, 이제원, 전민현 Korean Journal of Materials Research, 13(12), 775, 2003 |
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BCl 3 및 BCl 3 /Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaS 반도체 소자의 건식식각 임완태, 백인규, 이제원, 조관식, 전민현 Korean Journal of Materials Research, 13(10), 635, 2003 |
| 4 |
BCl 3 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 임완태, 백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산, Pearton SJ Korean Journal of Materials Research, 13(4), 266, 2003 |