검색결과 : 2건
No. | Article |
---|---|
1 |
전리수를 이용한 실리콘 웨이퍼 세정 윤효섭, 류근걸 Korean Journal of Materials Research, 11(4), 251, 2001 |
2 |
환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구 윤효섭, 류근걸 Clean Technology, 6(1), 79, 2000 |
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1 |
전리수를 이용한 실리콘 웨이퍼 세정 윤효섭, 류근걸 Korean Journal of Materials Research, 11(4), 251, 2001 |
2 |
환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구 윤효섭, 류근걸 Clean Technology, 6(1), 79, 2000 |