검색결과 : 1건
| No. | Article |
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Pulling rate, rotation speed 및 melt charge level 최적화에 의한 쵸크랄스키 공정 실리콘 단결정의 O2 불순물 최소화 설계 전혜준, 박주홍, 블라디미르 아르테미예프, 황선희, 송수진, 김나영, 정재학 Korean Chemical Engineering Research, 58(3), 369, 2020 |
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Pulling rate, rotation speed 및 melt charge level 최적화에 의한 쵸크랄스키 공정 실리콘 단결정의 O2 불순물 최소화 설계 전혜준, 박주홍, 블라디미르 아르테미예프, 황선희, 송수진, 김나영, 정재학 Korean Chemical Engineering Research, 58(3), 369, 2020 |