검색결과 : 2건
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rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향 조용준, 박안나, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 16(7), 445, 2006 |
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ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교 박연규, 박안나, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(8), 514, 2005 |