검색결과 : 1건
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Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구 문호성, 김상훈, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(6), 450, 2000 |
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Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구 문호성, 김상훈, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(6), 450, 2000 |