검색결과 : 2건
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쵸크랄스키 Silicon 단결정의 Large Pit과 Flow Pattern defect의 열적 거동과 Large Pit의 소자 수율에의 영향 송영민, 문영희, 조기현, 김종오 Korean Journal of Materials Research, 11(9), 781, 2001 |
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고 에너지 (1.5 MeV) Boron 이온 주입과 초기 산소농도 조건이 깊은 준위에 미치는 영향에 관한 연구 송영민, 문영희, 김종오 Korean Journal of Materials Research, 11(1), 55, 2001 |