화학공학소재연구정보센터
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1 코발트/니켈 합금박막으로부터 형성된 복합실리사이드
송오성, 정성희, 김득중
Korean Journal of Materials Research, 14(12), 846, 2004
2 코발트/니켈 적층구조 박막으로부터 형성된 복합실리사이드
송오성, 정성희, 김득중, 최용윤
Korean Journal of Materials Research, 14(11), 769, 2004
3 Co/Ni 복합실리사이드의 메탈 콘택 건식식각 안정성 연구
송오성, 범성진, 김득중
Korean Journal of Materials Research, 14(8), 573, 2004
4 직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거
정영순, 송오성, 김득중, 주영철
Korean Journal of Materials Research, 14(5), 315, 2004