화학공학소재연구정보센터
연구자 : 권세훈 (부산대학교)
No. Article
1 실리콘 관통형 Via(TSV)의 Seed Layer 증착 및 Via Filling 특성
이현주, 최만호, 권세훈, 이재호, 김양도
Korean Journal of Materials Research, 23(10), 550, 2013