- 에어부상식 세라믹 리니어 스테이지에 적용되는 세라믹 슬라이더의 제조방법
- 국제 특허분류 : F16C-029/02, B23B-027/06, B23B-051/02, B23G-001/04, C04B-035/64, C04B-041/91, F16C-029/00, F16C-032/06
- 출원번호/일자 : 10-2020-0028773 (2020/03/09)
- 공개번호/일자 : (1970/01/01)
- 출원인 : 주식회사 태경정반
- 본 발명의 일면은 알루미나, 지르코니아, 질화규소 기반의 세라믹으로 이루어진 에어부상식 리니어 스테이지(100)에 관한 것으로, 소정 크기를 가지는 세라믹 베이스(10); 상기 베이스(10)의 상단에 고정 장착되는 하나 이상의 세라믹 가이드(20); 상기 가이드(20)에 부상되어 직선 왕복 운동하는 세라믹 슬라이드(30);로 이루어지고, 상기 베이스(10)와 가이드(20) 및 슬라이드(30)는 작동에 필요한 여타의 보조부재가 장착되게 유도하는 인서트너트(101)가 결합되도록 복수의 나사구멍(102)이 일체로 형성되고, 상기 슬라이드(30)는 외부로부터 고압저속의 에어가 공급되는 하나 이상의 공급유로(31)와, 상기 공급유로(31)와 연통되게 복수로 배열되고, 상기 가이드(20)와 맞물리는 접촉면을 향해 저압고속의 에어로 변환 토출시켜 상기 가이드(20)와 무 접촉 상태로 부상시키는 직경 0.5㎜ 이하의 부상유로(35)가 일체로 형성되되, 상기 공급유로(31)의 일단 내면에는 호스이음부재(N)를 결합시키는 체결나사(32)가 일체로 형성되고, 상기 부상유로(35)의 가장자리에는 균열이 방지되게 내측에서 외측으로 확장된 경사면(36) 또는 곡면(37)이 일체로 형성된 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 내마모성과 내식성 및 내열성이 우수한 고경도 소재인 세라믹으로 이루어져 탁월한 정밀성과 안정성을 확보할 수 있음 물론 높은 수명과 월등한 품질을 보장할 수 있고, 에어의 유속을 가속시켜 부상을 유도하는 오리피스 미세 부상유로가 일체로 형성됨으로써, 별도의 미세구멍이 천공된 오리피스 황동부재를 제작하고 결합하는 과정을 생략시킬 수 있으므로 전반적인 제조공정단축과 공수절감이 가능한 효과가 있다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
