- 기상 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
- 국제 특허분류 : C23C-016/455, C23C-016/04, C23C-016/44, C23C-016/458, C23C-016/54, H01L-051/56
- 출원번호/일자 : 10-2019-0082835 (2019/07/09)
- 공개번호/일자 : 10-2019-0086640 (2019/07/23)
- 출원인 : 삼성디스플레이 주식회사, 한양대학교 에리카산학협력단
- 본 발명은 증착 공정을 효율적으로 진행할 수 있고 증착막 특성을 용이하게 향상하는 기판에 박막을 증착하기 위한 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상측 부재 및 상기 상측 부재와 결합하는 측면 부재를 구비하는 본체부, 상기 측면 부재의 일측을 향하도록 배치되는 수용부, 상기 수용부에 배치되고 상기 기판을 장착하도록 형성된 스테이지, 상기 측면 부재에 배치되어 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 하나 이상의 기체를 주입하는 제1 주입부, 상기 상측 부재에 배치되어 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 하나 이상의 기체를 주입하는 제2 주입부, 상기 상측 부재의 일면에 배치되는 코일부 및 상기 코일부에 연결되는 전원부를 구비하는 플라즈마 발생부를 포함하는 기상 증착 장치를 제공한다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
