| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 나노 및 생체재료 |
| 제목 | VLS(Vapor-Liquid-Solid)성장기구에 의한 SiCxNy 나노와이어 제조 |
| 초록 | 탄소나노튜브의 발견이후에 수많은 나노로드와 와이어의 개발과 연구가 이루어져왔으며 그중 탄화물과 질화물 계열이 가장활발히 연구되었다. 최근에는 나노로드와 와이어를 이용한 센서와 광학소자들의 연구결과가 발표되고 있어 나노소자를 이용한 본격적인 응용연구가 시작되었다. 여러가지 조성을 가진 나노와이어중 SiCN은 물리적, 전기적 특성이 우수하여 차세대 광소자와 기계소자로서 주목받고 있는 물질이나 제조공정이 어려워서 지금까지 연구결과가 거의 발표되고 있지 않았다. 본 연구에서는 기상화학증착법을 이용하여 SiCN 나노와이어를 20um 이상 성장시켰으며 그 물리적 화학적 특성을 평가하였다. 기존의 성장방법의 고온공정과 불균일한 조성의 문제를 해결하기 위하여 HMDSN을 사용하여 우수한 품질을 가진 SiCN 나노와이어를 성장시킬수 있었으며, 매우 빠른 성장속도를 가짐으로서 나노소자의 제작에 매우 적합할 것으로 여겨진다. Acknowledgements : This research supported by a grant(code # : 05K1501-02420) from 'Center for Nanostructureed Materials Technology' under '21st Century Frontier R&D Programs' of the Ministry of Science and Technology, Korea |
| 저자 | 안명원1, 김재수2, 양재웅1, 노대호2, 김나리2, 이재훈3 |
| 소속 | 1대진대, 2한국과학기술(연), 3생산기술(연) |
| 키워드 | SiCN; VLS; Nanowire |
