| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 |
10권 1호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering 방법으로 증착된 ITO 박막의 산소 농도의 영향 |
| 초록 |
최근에 태양전지에 사용되는 투명전극의 재료로 indium tin oxide (ITO)와 Indium zinc oxide (IZO)가 연구되고 있다. 이러한 물질들이 가시광선 영역에서의 높은 투과도(transmittance)와 낮은 저항도(resistivity)의 특성을 가지도록 하기위해 현재 활발한 연구가 진행되고 있다. 본 실험에서는 박막 증착에서 주요 공정 변수로서 산소 농도를 선택하여 이에 따른 ITO 박막의 투과도와 저항도의 변화를 관찰하였다. ITO 박막의 투과도와 저항도를 측정하기위해 각각 UV/Visible spectrophotometer와 four-point probe를 사용하였고 박막 표면의 거칠기를 조사하기 위해서 atomic force microscopy가 사용되었다. 이러한 분석들을 이용하여 산소 농도가 증가할수록 ITO 박막의 증착속도가 감소하는 경향과 저항이 증가하는 경향을 관찰할 수 있었다. |
| 저자 |
조한나, 정지원, 이장우, 민수련
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| 소속 |
인하대 |
| 키워드 |
sputter; ITO
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| E-Mail |
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