| 초록 |
최근에 La2MoO6와 같은 광학적 특성이 우수한 몰리브덴산염 분말을 형광체, 레이저, 광전자 소자에 응용하기 위한 연구가 많은 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 증착 온도의 변화에 따른 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 석영 기판 위에 성장한 La2MoO6:Dy,Eu 박막의 구조, 표면 및 발광 특성을 조사하였다. 스퍼터링 타겟은 고상반응법으로 Dy와 Eu 이온이 도핑된 La2MoO6 형광체 분말을 합성 하였으며, 유압 프레스를 사용하여 직경 1인치의 원형 소결체로 제작하였다. 스퍼터링 증착 압력 3.5x10-2 Torr와 파워 40 W에서 증착 온도를 100-400℃로 변화시키면서 La2MoO6:Dy,Eu 박막을 성장시켰으며, 증착된 박막의 결정 구조, 표면 형상과 광학 특성은 각각 X-선 회절법, 주사전자 현미경, 형광 광도계와 자외선-가시광선 분광계를 사용하여 측정하였다. 400℃에서 증착한 La2MoO6:Dy,Eu 박막의 발광 스펙트럼은 270 nm로 제어하였을 때, Eu3+이온의 5D0→F2 전이에 의한 617 nm의 적색 발광과 Dy3+이온의 4F9/2→6H13/2 전이에 의한 577 nm의 황색 발광이 관측되었다. 증착 온도가 400℃에서 100℃로 감소함에 따라 두 발광 스펙트럼의 세기는 점차적으로 감소하는 경향을 보였다. 증착 온도 변화에 따른 밴드갭 에너지, 투과도, 결정 입자의 크기와 형상을 조사하였다. |
