화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산))
권호 14권 1호
발표분야 고분자
제목 아크릴산과 아세틸렌으로부터 remote 플라즈마법에 의한 중합체 합성
초록 분자 내에 이중결합과 카르복실기를 함께 가지고 있는 아크릴산은 다양한 분야에서 널리 사용하는 전구체이다. 본 연구에서는 플라즈마를 이용한 아크릴산 중합체 합성반응에 아세틸렌과 메탄 기체를 혼입하여 그 영향을 조사하였다. 단량체의 화학 구조를 유지하기 위해 remote 플라즈마 방식을 사용하였고, 반응 전구체는 플라즈마 영역을 지나지 않고 기판 바로 위로 공급하였다. Langmuir probe를 사용해 직, 간접 플라즈마의 전자밀도 및 전자온도의 차이점을 진단하였다. 플라즈마 반응 조건에 따라 증착된 필름의 성장속도 및 굴절율을 α-step과 엘립소미터로 분석하였고, 화학구조를 FT-IR과 XPS로 분석하여 반응 조건에 따른 작용기의 함유량 및 차이점을 비교 검토하였다.
저자 김준영, 이종인, 서문규
소속 청주대
키워드 Acrylic acid; Acetylene; Plasma polymerization; FT-IR; XPS
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