학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2012년 가을 (11/07 ~ 11/09, 라카이샌드파인 리조트) |
권호 | 18권 2호 |
발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
제목 | Ferroelectric Properties of Polycrystalline PbTiO3 Film Grow on Ni Substrate by Hydrothermal Method |
초록 | 수열합성법(Hydrothermal method)은 상대적으로 높은 기압과 300oC 이하의 비교적 낮은 온도에서 세라믹 물질을 제조하는 방법으로 널리 알려져 있다. 그러나 수열합성법으로 제조하는 세라믹 물질은 일반적으로 분말형태로 얻어지게 되며, 막의 형태로 성장시키기 위해서는 핵 성장에 기본이 되는 seed가 필요하다. 본 연구에서는 Ni 금속기판 위에 상온 분말 분사(Aerosol Deposition) 방법을 이용하여 PbTiO3박막을 얇게 증착하여 핵생성자리로 사용하였으며, 이렇게 제작된 PbTiO3/Ni 위에 PbTiO3의 막을 수열합성법으로 성장하였다. 수열합성 반응의 조건을 변화시키면서 막을 성장시켰으며, 다양한 수열합성 반응에 따른 미세구조분석, X-선 회절분석 등을 통하여 막의 결정구조 및 성장거동을 관찰하였다. 성장된 막에 전기장을 인가함에 따라 변하는 발생하는 변위와 전하특성을 측정하였다. 이와 같이, 상온 분말 분사법과 수열합성법을 이용하여 성장된 세라믹 막 재료는 다양한 박막형 강유전체 및 압전소자 제작에 응용될 수 있을 것으로 기대된다. |
저자 | Jungkeun Lee1, Soowhan Lee2, Im-Jun No3, Jungho Ryu4, Dong-Soo Park1, Chongmu Lee2, Dae-Yong Jeong3 |
소속 | 1School of Materials Engineering, 2Inha Univ., 3Incheon 402-751, 4Korea |
키워드 | Hydrothermal method; Aerosol deposition; PbTiO3 film; Ferroelectric |