| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | 화학 증기 수송법에 의해 증착된 금속 Mo 박막의 전기적 특성 |
| 초록 | 몰리브덴 금속박막(Metal Mo)은 우수한 전기전도도로 인해 CuInSe2로 대표되는 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2족 화합물 반도체 박막태양전지에서 후면전극으로 널리 이용되고 있는 재료로서 일반적인 증착방법으로 CVD, PVD, Thermal evaporation, Sol-gel 등이 있으며, 이 중에서 Sputtering에 의한 증착법이 주로 사용되고 있다. 이에 본 연구에서는 MoO3분말의 수소 환원 과정 중에 발생하는 기상인 MoO3(OH)2 기상의 화학증기수송(CVT)를 이용하여 MoOx 박막을 증착하고 다시 수소분위기에서 수소 환원하는 증착법을 통해 균일하고 부착성이 우수한 Mo 박막을 제조 하였다. 550oC, 60min의 유지시간에서 약 900nm의 균일한 MoOx 박막을 증착하였으며, 650oC, 15min 의 환원조건에서 모두 금속 몰리브덴 박막으로 상변화 함을 XRD와 SEM을 통해 확인하였다. 본 연구에서 사용된 화학증기수송에 의한 박막 증착은 기존의 공정에 비해 매우 저렴하며, 반응중에 유해하지 않은 부산물로 인해 환경 친화적이며 또한 대형화가 가능한 공정으로 많은 응용이 기대된다. |
| 저자 | 박창원, 이영중, 김대건, 김영도 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | 몰리브덴; 화학증기수송법; 화합물태양전지 |
