화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2014년 가을 (11/27 ~ 11/28, 대전컨벤션센터)
권호 20권 2호
발표분야 F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials)
제목 증착 온도와 열처리 온도가 MgNb2O6:Eu3+ 형광체 박막에 미치는 영향
초록 본 연구에서는 증착 온도와 열처리 온도의 변화에 따른 형광체 박막의 구조, 표면, 광학 특성의 변화를 조사하였다. 두 종류의 MgNb2O6:Eu3+ 형광체 박막을 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제조하였다. 첫 번째는 서로 다른 증착 온도(25-400℃)에서 유리 기판 상부에 형광체 박막을 성장한 다음에 연이어 570℃에서 급속열처리를 수행하여 제조하였다. 두 번째는 증착 온도 300℃에서 유리 기판 위에 박막을 성장하고, 열처리의 온도(420~570℃)를 각각 변화시켜 제조하였다. 모든 박막은 617 nm의 적색 발광 스펙트럼을 나타내었고, 발광의 세기는 증착 온도 200℃에서 최대를 보였다. XRD 데이터의 경우에, 주 회절 피크(131)는 약 30〬에서 관측되었다.
저자 조민정, 김지선, 조신호
소속 신라대
키워드 박막; 스퍼터링; 플라즈마; 투과도
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