학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2006년 봄 (04/20 ~ 04/21, 대구 인터불고 호텔) |
권호 | 12권 1호, p.1013 |
발표분야 | 재료 |
제목 | 플라즈마 가스의 유량이 제조되는 나노입자의 특성에 미치는 영향 |
초록 | PDP 작동시 셀 내부에서 발생되는 불순가스는 디바이스의 오염을 초래하여 표시소자의 효율을 떨어지게 하며 이로 인해 PDP의 수명이 짧아지게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 불순가스를 흡착 또는 흡수시켜 제거하는 Getter가 필요하다. 불순가스는 게터의 표면에서 van der Walls 힘에 의하여 물리적으로 흡착되어 해리한 후 화학적 흡착되어 제거되므로 고 다공성 게터의 제조가 요구되고 있다. 이에 따라 게터의 입자 크기가 작아질수록 표면적이 증가하므로 높은 흡착 특성을 가지게 되므로 게터 금속 분말을 나노 크기로 제조하는 것이 중요하다. 또한 PDP 셀의 크기가 작아질수록 게터 박막 형성이 어려우므로 비증발형 게터용 금속 나노 분말의 제조가 필요하다. 나노입자를 제조하는 기술 중에서 열플라즈마법은 원료물질의 상태에 제약이 없으며, 초고온, 빠른화학반응, 급냉에 의해 초미립자의 제조가 용이하고, 다양한 성분의 순도 높은 금속 및 금속산화물 초미립자를 만들 수 있다는 장점을 가지고 있어 금속나노입자하는 방법으로 각광받고 있다. 본 연구에서는 열 플라즈마 장비를 사용하여 PDP 셀 내부에서 발생되는 불순 가스를 제거할 수 있는 복합성분의 Getter 금속나노분말(Zr·V·Fe)을 제조해 보았으며 유량변화가 나노입자제조에 어떠한 영향을 주는지 알아보았다. * 본 연구는 교육인적자원부와 산업자원부의 출연금 및 보조금으로 수행한 산학협력 중심대학 육성사업의 일환으로 수행되었습니다. |
저자 | 조태진1, 정민희1, 김헌창1, 오창섭2 |
소속 | 1호서대, 2한국과학기술정보원 |
키워드 | plasma; getter; nano |
원문파일 | 초록 보기 |