| 초록 |
희토류 발광 물질은 4f 껍질에 위치하는 전자의 독특한 특성 때문에 발광 다이오드, 자석, 촉매와 디스플레이 영역으로 그 응용성을 확장하고있다. 본 연구에서는 고효율의 적색 형광체 박막을 제조하였다. 초기 물질 Y2O3, Nb2O5, Eu2O3를 화학양론적으로 준비하였고, 고상반응법으로 합성하여 원형 소결체의 타겟을 제작하여, 라디오파 마그네트론 스퍼터링 장비를 사용하여 각각 25, 100, 200, 300, 400 C°로 성장 온도를 달리하여 유리 기판 위에 증착하였고, 연달아 다양한 온도 400, 450, 500, 550C°에서 급속 열처리를 시행하여 열처리 온도에 따른 박막의 광학, 구조, 표면, 투과 특성을 조사하였다. 급속 열처리한 박막의 주피크는 620 nm에서 최대 피크를 갖는 적색 발광 스펙트럼과 상대적으로 약한 599 nm의 적주황색, 658 nm의 적색 발광 스펙트럼이 관측되었고, 전하전달밴드는 286 nm에서 관측 되었다. XRD를 사용하여 측정한 형광체 박막의 결정 구조는 비정질로 측정되었다. 광학 투과도는 평균 85% 이상의 투과도를 나타내었고, 흡광도 그래프와 Tacu의 모델을 이용하여 계산한 밴드갭 에너지의 값은 3.8 eV 이었다. |
