| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (04/23 ~ 04/24, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 |
15권 1호, p.893 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
PECVD를 이용한 DSSC의 Anode와 TiO2의 계면접착력 향상을 위한 연구 |
| 초록 |
본 연구에서는 TiO2를 이용하여 염료감응 태양전지를 만들 때 발생하는 TiO2와 Anode 간의 약한 계면 접착력을 해결하고자 먼저 PECVD를 이용하여 TiO2 박막을 제조한 후 제조된 박막위에 TiO2 층을 증착시키는 실험을 하였다. TTIP를 전구체로 사용하였으며 아르곤과 산소를 반응가스로 사용하였다. 공정변수로는 플라스마 처리 시간과 Discharge power를 변화시키며 Anode 위에 TiO2 박막을 제조하였다. 얻어진 박막에 대하여 FTIR과 SEM, EDX로 분석하였으며, 접착력 테스트를 실시하였다. 또한 제조된 TiO2 박막층 위에 염료흡착층인 TiO2 층을 10μm~20μm를 증착하였으며, 400℃로 소성하여 FTIR과 SEM, EDX로 분석하였다. |
| 저자 |
김경환, 임경택, 박 준, 박유정, 김경석, 송선정, 조동련
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| 소속 |
전남대 |
| 키워드 |
저온 플라즈마 공정; PECVD; TiO2; 계면접착력
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| 원문파일 |
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