화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔)
권호 22권 2호
발표분야 G. 나노/박막 재료 분과
제목 Thermal-NIL을 이용한 열적/물리적으로 견고한 colorless polyimide(CPI) nano/micro급 광기능 패턴 형성 
초록 Colorless polyimide(CPI)는 기존의 polyimide가 가졌던 훌륭한 기계적 물성, 열적/화학적 안정성 등을 가지면서, 동시에 CTC 반응의 억제를 통하여 높은 투과성을 가지는 물질이다. 기존의 폴리이미드가 갖지 못했던 높은 투과성을 확보함에 따라 CPI는 그동안 확보하지 못했던 투명전극, solar cell, LED와 같은 여러 광학기기에의 사용이 활발히 연구되고 있다. 우리는 cPI를 합성하고, 이 cPI의 농도조절을 통해 viscosity를 조절하여 Nanoimprint lithography(NIL)의 imprinting resin으로 사용하였다. 이 CPI를 imprint resin으로하는 imprint 공정 개발을 통해 수백나노부터 수마이크로까지의 다양한 모양과 크기의 cPI patterned film을 one-step 공정으로 패터닝과 imidization까지 일어나는 공정을 개발하였다. 형성된 cPI는 대표적인 imprinting resin인 PMMA 등에 비해 훨씬 더 좋은 물리적/열적/화학적 안정성을 가지고 있고, 광기능 패턴인 moth-eye pattern이나 PSS패턴을 형성함으로써 광학기기로도 우수한 광특성을 지니는 것을 확인하였다. 이러한 특징을 통하여, 높은 durability및 cycle test적인 요소를 요구하는 replica stamp, flexible transparent electrode, 저반사필름 등에 사용할 수 있을 것으로 보인다.
저자 전준호, 이헌, 박재민, 최학종, 문성진
소속 고려대
키워드 nanoimprint; Thermal-NIL; Colorless polyimide; nano-to-micro patterning; optical pattern
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