| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | 유리 기판상에 성장된 AZO/Ag 이중구조 박막의 제조기술 개발 및 특성평가 |
| 초록 | 최근 Si 박막 태양전지의 고효율화를 위한 다양한 기술들이 개발되고 있다. 현재 a-Si:H 및 nc-Si:H 박막태양전지에 관한 연구는 일본, 미국, 유럽을 중심으로 활발히 이루어지고 있으며, 소면적(1cm2이하)에서 보고된 a-Si:H 박막태양전지의 최고효율은 a-Si/a-SiGe/a-SiGe의 적층형 구조로 초기효율 15.6%, 안정화효율 13%이며, nc-Si 태양전지는 a-Si/nc-Si tandem구조에서 초기효율 14.7%로 알려져 있다. 본 논문에서는 전체 태양전지 효율 중 흡수층 내 반사막층이 미치는 역할을 알아보기 위하여 AZO/Ag 이중구조 박막의 특성에 관한 연구를 수행하였다. AZO/Ag 이중구조 박막을 제작하기 위하여 combinatorial sputter 장비를 사용하였으며, Ag(99.99%), AZO (2 wt% Al2O3 doped ZnO) sputtering target 을 이용하여 AZO/Ag 이중구조 박막을 증착 하였다. 유리 기판 상에 combinatorial sputtering system으로 실온에서 제작한 Ag 박막의 두께는 5, 10, 25 nm로 성장시켰으며, 연속공정으로 AZO 박막을 각각 성장시켰다. 이 때 의 AZO 박막은 100~500 nm의 두께 경사로 관찰되었다. AZO/Ag 이중구조 박막의 전기적 특성은 Ag 박막의 두께가 25 nm 일 때 가장 낮았으며 1.4~1.6 Ω/□의 값을 나타내었다. 본 발표에서는 유리기판 상에 성장된 AZO/Ag 이중구조 박막의 우수한 전기적 특성을 기반으로 반사도 및 표면 morphology 특성 등에 관하여 추가적으로 토론한다. |
| 저자 | 박재철1, 이승현2, 김진혁2, 허기석1, 이종호1, 김태원1 |
| 소속 | 1한국생산기술(연), 2전남대 |
| 키워드 | solar cell; AZO/Ag; bilayer; co-sputter; BRL |
