| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 23권 2호 |
| 발표분야 | C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 | 보론 리치 레이어 제거에 의한 보론 에미터 특성 및 표면 관찰 |
| 초록 | 최근 실리콘 태양전지의 고효율화를 위하여 다양한 연구가 진행되는 가운데 N 형 실리콘 태양전지에 대한 관심이 증가하고 있다. N 형 실리콘 태양전지에 적용되는 보론 에미터는 에미터 도핑 농도 프로파일, 면저항, 표면 농도 뿐 아니라 표면쪽에 형성되는 보론 리치 레이어에 의한 특성 분석도 중요하게 작용한다. 본 연구에서는 보론 리치 레이어의 제거를 통해 에미터 특성을 개선하였다. 보론 리치 레이어를 제거하기 위해서 사용된 방법은 용액 공정과 Dry oxidation 공정의 두 공정법을 이용하였다. 실험 결과 보론 리치 레이어가 제거될 수록 에미터의 implied open circuit voltage, lifetime 및 sheet resistance 가 증가하였다. 그러나 보론 리치 레이어가 과하게 에칭되는 경우 implied open circuit voltgae와 lifetime 이 감소하는 양상을 나타냈다. 용액 공정을 통해 보론 리치 레이어를 제거한 에미터의 경우 표면에 porous 한 형상이 확인되었으며 이로 인하여 패시베이션 특성 변화 및 반사도 특성 변화를 확인하였다. 끝으로 보론 에미터를 적용한 N형 실리콘 태양전지의 효율을 확인하였다. |
| 저자 | 박현정1, 박세진1, 배수현1, 양지웅1, 현지연1, 이창현1, 최동진1, 강윤묵2, 이해석2, 김동환1 |
| 소속 | 1고려대, 2KU-KIST 그린스쿨 |
| 키워드 | <P>N형 실리콘 태양전지; 에미터</P> |
