| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 |
5권 2호, p.2481 |
| 발표분야 |
공정시스템 |
| 제목 |
Czochralski 결정성장로 공정의 제어시스템 개선 및 현장적용 |
| 초록 |
Czochralski 반응을 이용한 결정성장로 공정은 반도체의 재료가 되는 웨이퍼를 생산하는 공정이다. 현재 반도체 업계에서는 대용량의 반도체 칩을 생산하기 위하여 보다 더 큰 직경과 고품질의 웨이퍼를 요구하는 실정이며 이러한 요구를 충족시키기 위해서는 보다 강건하고 정교한 제어가 뒷받침되어야 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해서 본 연구에서는 Czochralski 결정성장로 공정에 있어서 기존의 제어시스템을 그대로 사용하면서 최대의 제어성능 향상 효과를 얻기 위하여 공정의 동특성을 파악하기 위한 identifica-tion을 수행하고, 제어 logic을 개선함과 동시에 제어기의 최적 조율값을 찾고, 보다 나은 성능의 filter를 설계하는데 중점을 두었다.
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| 저자 |
김재훈, 이동기, 김양진, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권
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| 소속 |
영남대 |
| 키워드 |
결정성장로; 제어; Czochralski
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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