학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
권호 | 14권 1호 |
발표분야 | 전자재료 |
제목 | MgO-SiO2계 Glass-Ceramic/Kovar/Magneisum Alumino Silicate계의 계면 접합 특성 |
초록 | Optical Chip으로 통칭되는 광소자 모듈용 세라믹 베이스는 낮은 투자율, 기계적인 가공성, 그리고 고전기 저항성 등의 특성이 요구된다. 그러나 Optical Chip을 구성하는 소재들간의 열팽창 계수 차이는 최종적으로 소자 구성에 물리적인 결함을 야기하는 것으로 알려져있다. 이런 관점에서 본 연구에서는 Mg-Si-O계 Enstatite/Kovar/Mg-Al-Si-O계 유리를 온도 및 접합 분위기의 함수로 계면을 관찰하였다. |
저자 | 차진용1, 김지은1, 최진삼1, 배원태1, 최정암2 |
소속 | 1경상대, 2(주)한국실트론 |
키워드 | Enstatite; Kovar; Mg-Al-Si-O Glass; Optical Chip |