| 초록 |
나노임프린트 리소그래피 기술개발에 적용되는 글래스 웨이퍼 기판과 UV경화 폴리머 사이의 계면접착에너지를 정량적으로 평가하기 위하여 4점 굽힘시험을 수행하였다. 글래스 웨이퍼와 UV경화 폴리머 사이의 계면접착에너지를 증가시키기 위해 글래스 웨이퍼 표면에 O2 플라즈마, hexamethyl disilazane(HMDS), 3-aminopropyl triehtoxysilane(APTS), 3-gycidoxypropyl trimethorysilane(GPTS), 3-acryloxypropyl methyldichlorosilae(APMDS)의 다섯 가지 SAM으로 표면 처리를 하였다. 또한 계면접착에너지 감소를 위해 anti-sticking layer인 perfluoro-octylichorosilane(FOTS), dichlorodimethylsilane (DDMS)로 처리 후 4점굽힘실험을 통하여 UV경화폴리머와 글래스 웨이퍼 기판의 계면접착에너지를 정량적으로 평가하였다. 계면접착에너지를 비교한 결과 표면처리를 하지 않았을 때와 O2 플라즈마, HMDS, APTS로 표면 처리하였을 때는 차이가 미미하였지만 GPTS로 표면처리를 한 경우 계면접착에너지는 2.57 J/m2으로 표면처리를 하지 경우의 계면접착에너지 1.23 J/m2 보다 1.34 J/m2증가하였고, FOTS로 표면 처리한 경우 는 표면처리 전 보다 계면접착에너지가 0.74 J/m2 감소한 0.49 J/m2으로 측정되었다. 4점굽힘시험후의 계면의 파괴경로를 SEM과 EDS를 사용하여 분석하였다. |
