화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트)
권호 14권 1호
발표분야 구조재료
제목 플라즈마 이온질화에 따른 Ti-10wt.%Ta-10wt.%Nb 합금의 질화층에 관한 연구
초록 플라즈마 이온질화 방법을 이용하여 Ti 및 Ti 합금에 이온질화를 실시하였다. 공정온도 변화에 따른 질화층의 두께변화, 경도변화, 부식시험, 마모시험, scratch test와 EDX분석, XRD에 의한 상 분석, 0.5μm씩 연마 후 XRD 상 분석 등을 실험을 실시하여 결과를 고찰하였다. TiN 질화 층의 두께는 온도가 증가함에 따라 증가하는 경향을 나타내었으며, XRD 분석결과 δ-TiN상, ε-Ti2N상, α-Ti상 등이 검출되었고 TiN 질화 층의 우선방위는 온도가 증가할수록 TiN (220)으로 우선성장 하는 것이 뚜렷하게 나타내었다. 850℃에서 질화한 시료를 약0.5μm씩 연마한 후의 XRD 분석결과에서 연마가 진행될수록 TiN상과 Ti2N상이 점점 감소하였음을 확인하였으며, 약4μm를 연마한 후에는 미량의 Ti2N상과 α-Ti상이 존재하는 경향을 나타내었다.
저자 임태관1, 이도재1, 이광민1, 김동훈2, 서원석3, 박성혁3
소속 1전남대, 2(주) DSR, 3(주)탑플러스
키워드 플라즈마; 이온질화
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