| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1921 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 니켈로센을 이용한 니켈 박막의 화학증착 |
| 초록 | Nickelocene을 이용하여 증착한 박막의 증착에 수소와 증착 온도가 끼치는 영향에 대하여 알아보았다. |
| 저자 | 강진규, 박만영, 이시우 |
| 소속 | 포항공대 화학공학과 |
| 키워드 | Nickelocene; MOCVD; Carbon Content |
| , | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1921 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 니켈로센을 이용한 니켈 박막의 화학증착 |
| 초록 | Nickelocene을 이용하여 증착한 박막의 증착에 수소와 증착 온도가 끼치는 영향에 대하여 알아보았다. |
| 저자 | 강진규, 박만영, 이시우 |
| 소속 | 포항공대 화학공학과 |
| 키워드 | Nickelocene; MOCVD; Carbon Content |
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| 원문파일 | 초록 보기 |