| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (10/10 ~ 10/11, 부경대학교) |
| 권호 | 28권 2호, p.290 |
| 발표분야 | 특별 심포지엄 |
| 제목 | Depostion of indium-tin-oxide transparent conducting film on the polycyclic olefin film |
| 초록 | 전자빔 증착법(electron beam evaporation)으로 고분자 기판(polycyclic olefin)위에 투명전도성 ITO(In2O3 90wt% - SnO2 10wt%)박막을 제조하였다. 공정변수로써 기판온도, 박막두께, 증착속도 변화에 따른 ITO박막의 물성(조성, 결정성, 미세구조 및 전기적, 광학적 성질)을 조사하고 증착된 박막의 열처리(annealing) 전후의 물성을 조사하였다. 고분자 기판의 물성(Tg= 330℃, 91.6% transmission in the visible light)을 고려하여 기판온도를 상온에서 300℃로 증가함에 따라 전기적, 광학적 특성이 향상됨을 알 수 있었다. |
| 저자 | 하 기 룡1, 정 광 욱1, 안 희 준1, 이 동 호2 |
| 소속 | 1계명대, 2경북대 |
| 키워드 | electron beam evaporation; ITO; polycyclic olefin film |
