| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 PET 기판 위에 증착한 ITO 박막의 특서에 대한 기판온도의 영향 |
| 초록 | 대표적인 투명 전도성 산화물인 ITO 박막은 flat panel displays, flexible displays, solar cells 등의 투명전극재료로써 가장 널리 사용되고 있다. 최근에 휴대성과 유연성을 지닌 디스플레이 소자에 대한 관심이 고조됨에 따라 투명전극인 ITO 박막은 유연한 기판 위에 증착 해야만 하며, ITO 박막의 전기적 특성과 표면 형상은 낮은 비저항과 평탄한 표면을 가져야 한다. 특히, 기계적 bending 응력에 따른 ITO 박막의 내구성과 신뢰성은 flexible displays의 응용에 있어 핵심적 요소이다. 이러한 요구조건을 만족시키기 위하여, ITO 박막 특성의 최적화에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 따라서, 본 연구에서는 ITO 박막의 특성에 대하여 기판온도가 미치는 영향을 조사하였다. ITO 박막은 90%의 In2O3와 10%의 SnO2가 함유된 고밀도 세라믹 타겟을 사용하였으며, DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 PET 기판 위에 다양한 기판온도의 조건 (RT ~ 100℃)에서 증착 되었다. 본 연구실의 선행 연구를 통하여 DC power, 챔버내 압력, 타겟-기판거리는 각각 70 W, 0.5 Pa, 60 mm로 유지하였다. 제작된 ITO 박막의 미세구조, 표면형상, 전기적ㆍ광학적 특성은 XRD, AFM, Hall effect measurement, UV-Visible spectrophotometer을 사용하여 평가하였으며, ITO 박막의 기계적 특성은 bending tester와 scratch tester에 의해 평가하였다. 가장 낮은 비저항 3.47 x 10-4 Ωcm은 70℃의 기판온도에서 증착한 ITO 박막에서 얻어졌다. 이것은 XRD 결과로부터 ITO 박막의 결정화에 따른 캐리어 농도의 증가에 기인한다. |
| 저자 | 이동엽1, 이정락1, 이건환2, 송풍근3 |
| 소속 | 1부산대, 2한국기계(연), 3표면기술연구부 |
| 키워드 | 폴리머 기판; 기계적 특성; ITO 박막; 기판온도 |
