| 초록 |
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 Glass 기판 상에 OLED 애노드 전극용 IZTO 박막을 성막하였다. 박막 성막 시 인가 전압은 30~100W로 변화시켰으며, 최적화된 전압에서의 압력과 타겟/기판 사이의 거리 그리고 작업압력의 변화에 따른 각각의 특성을 분석하였다. 전기적, 광학적, 구조적 특성을 분석하여 IZTO anode 박막을 최적화 하였으며, 각각의 특성을 분석하기 위해 4-point probe, UV/Vis spectrometer, XRD, SEM, AFM 그리고 XPS를 이용하였다. 상온에서 비정질 구조로 성막 되었음에도 불구하고 최적화된 IZTO anode 박막으로부터 18 Ohm/sq 이하의 낮은 면저항 값과 가시광선 영역에서 약85% 이상의 광 투과율을 얻을 수 있었다. SEM과 AFM 분석 결과로부터 상온에서 제작된 IZTO 애노드 박막이 매우 낮은 RMS roughness와 Peak to valley value를 나타냄을 알 수 있었다. 또 한 XPS 분석을 통해 일함수를 측정한 결과 일반적인 사용되는 ITO 애노드 박막에 비해 IZTO 애노드 박막이 0.2eV 이상 큰 일함수를 가지고 있음을 알 수 있었다. 최적화된 IZTO 박막을 이용하여 인광형 유기발광소자를 제작하고 J-V-L 특성을 일반적인 ITO 애노드 박막에 제작된 인광형 유기발광소자와 비교 분석하였다. IZTO 박막을 상온에서 제작하였음에도 불구하고 고온에서 제작된 ITO 애노드 상에 제작된 인광형 유기발광소자와 유사한 J-V-L 특성을 나타내었다. 뿐만 아니라 ITO 애노드에 제작된 유기발광소자보다 IZTO 애노드상에 제작된 유기발광소자가 더 높은 양자 효율과 파워효율을 나타내었다. 이러한 IZTO 애노드 박막의 우수한 특성은 IZTO 박막의 유기발광소자용 ITO 애노드 박막의 대치 가능성을 말해준다 |
