| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (10/15 ~ 10/16, 서울산업대학교 내 서울테크노파크) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 교육-기능성 나노소재 개발을 위한 기기분석 원리 |
| 제목 | 투과전자현미경 (TEM)의 원리와 응용 |
| 초록 | 기능성 나노소재 개발을 위한 기기분석기술로 투과전자현미경(TEM)의 중요 원리와 여러 응용에 대하여 소개한다.세부 내용으로는, 전자현미경학의 역사, 투과전자현미경의 구조 및 제반 기능, 전자빔과 물질의 상호작용, 전자기 렌즈 결함, 해상력 정의 및 방정식, 콘트라스트 생성 메카니즘, 콘트라스트 전달 함수, 전자회절 및 회절도형 분석,고분해능 투과전자현미경상 취득 및 해석, 고분해능 전자현미경상 시뮬레이션 기법, Z-contrast 주사투과전자현미경기술(STEM),분석전자현미경 기술(AEM), 에너지분산 X-선 분광분석(EDS), 전자에너지손실 분광분석(EELS), 시료제작기술(ion milling, FIB, ultramicrotomy), 3차원 TEM 영상법 (electron tomography), 최신 기기 (렌즈수차보정장치, 모노크로메터, 전자총, 분석 생산성 향상) 진보 등 최신 기술을 중심으로 내용을 전개한다. |
| 저자 | 송세안 |
| 소속 | 삼성전자 종합기술원 |
| 키워드 | 투과전자현미경; 원리 및 응용; 최신 기술 |
