| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.1941 |
| 발표분야 | 촉매/반응공학 |
| 제목 | 졸-겔법에 의한 비선형 광학 및 강유전 박막 제조 |
| 초록 | 최근 졸겔법을 이용하여 전자 및 광전자 분야의 각종 신소재들이 연구 개발되고 있다. 특히 고순도의 원재료들의 화학 반응에 의해 복잡한 조성의 졸 용액이 만들어지고 이를 코팅하고 열처리하여 박막으로 만들 수 있는데, 박막 합성이 용이하고, 대면적 코팅이 가능하여 초전도 소자, 비휘발성 메모리 소자, 태양전지, 전기광학 소자, 커페시터, 센서 등 광범위한 분야에의 응용이 연구되고 있다. 본 연구에서는 유기물을 함유한 organosilane으로부터 졸겔 박막을 제조하여 비선형 광학 특성과 열적 거동을 관찰하였다. 졸겔반응을 29Si NMR을 사용하여 관찰하고 이로부터 초기 반응시의 Si 원자간의 가교 여부를 확인하였다. 또한 초전특성을 갖는 대표적인 강유전체인 PLT 박막을 제조하여 열분석 및 X-선 회절실험을 통해 열적거동 및 광학 특성을 관찰하였다. Si 웨이퍼상에 커패시터 구조를 제조한 후 전기 이력 특성을 연구 고찰하였다. |
| 저자 | 김종성 |
| 소속 | 경원대 |
| 키워드 | 졸겔; 비선형광학특성; 강유전체 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
