| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | B. Nano materials and processing Technology(나노소재기술) |
| 제목 | RF 유도 열플라즈마를 이용한 SiC 나노 분말 합성 |
| 초록 | SiC는 내열성, 내마모성 및 열전도성이 우수하며, 기타 산업용 세라믹으로 널리 사용되는 물질이다. 본 연구에서는 RF induction thermal plasma synthesis를 이용하여 SiC 나노분말을 합성하였다. 출발원료를 TEOS와 PTEOS로 하여 실험하였고, 합성된 SiC 나노 분말의 free carbon 함량을 계산하였다. 출발원료를 TEOS로 실험했을 경우보다 PTEOS로 실험했을 경우에 free carbon이 줄어드는 것을 확인하였다. 그리고 합성된 입자는 TEM, SEM, XRD 그리고 BET를 이용하여 입자들의 형상, 성분 조성 그리고 비표면적을 이용하여 입자들의 크기를 분석 하였다. 분석결과 입자 크기는 수십 나노의 크기로 확인되었으며, 출발 물질이 PTEOS일 경우가 입자 크기가 더 크게 나타났다. |
| 저자 | 고상민1, 구상만2, 김진호2, 황광택1 |
| 소속 | 1한국세라믹기술원, 2한양대 |
| 키워드 | RF 유도 열플라즈마; 나노 파우더; SiC; TEOS; PTEOS |
