화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2012년 가을 (11/07 ~ 11/09, 라카이샌드파인 리조트)
권호 18권 2호
발표분야 A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials)
제목 Ferroelectric Properties of Polycrystalline PbTiO3 Film Grow on Ni Substrate by Hydrothermal Method
초록 수열합성법(Hydrothermal method)은 상대적으로 높은 기압과 300oC 이하의 비교적 낮은 온도에서 세라믹 물질을 제조하는 방법으로 널리 알려져 있다. 그러나 수열합성법으로 제조하는 세라믹 물질은 일반적으로 분말형태로 얻어지게 되며, 막의 형태로 성장시키기 위해서는 핵 성장에 기본이 되는 seed가 필요하다. 본 연구에서는 Ni 금속기판 위에 상온 분말 분사(Aerosol Deposition)
방법을 이용하여 PbTiO3박막을 얇게 증착하여 핵생성자리로 사용하였으며, 이렇게 제작된 PbTiO3/Ni 위에 PbTiO3의 막을 수열합성법으로 성장하였다. 수열합성 반응의 조건을 변화시키면서 막을 성장시켰으며, 다양한 수열합성 반응에 따른 미세구조분석, X-선 회절분석 등을 통하여 막의 결정구조 및 성장거동을 관찰하였다. 성장된 막에 전기장을 인가함에 따라 변하는 발생하는 변위와 전하특성을 측정하였다. 이와 같이, 상온 분말 분사법과 수열합성법을 이용하여 성장된 세라믹 막 재료는 다양한 박막형 강유전체 및 압전소자 제작에 응용될 수 있을 것으로 기대된다.
저자 Jungkeun Lee1, Soowhan Lee2, Im-Jun No3, Jungho Ryu4, Dong-Soo Park1, Chongmu Lee2, Dae-Yong Jeong3
소속 1School of Materials Engineering, 2Inha Univ., 3Incheon 402-751, 4Korea
키워드 Hydrothermal method; Aerosol deposition; PbTiO3 film; Ferroelectric
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