| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | H. Advanced Coating Techniques(첨단 코팅 기술) |
| 제목 | 폴리카보실란을 이용한 탄화규소막의 제조와 특성평가 |
| 초록 | 탄화규소 박막은 열적 화학적 안정성 및 전기 물리적 특성이 우수하고 산소함유량이 낮아서 구조재료로부터 전자재료에 이르기까지 그 응용분야가 다양하며, 화학기상증착법과 폴리카보실란 고분자의 열분해를 통하여 제조가 가능하다. 본 연구에서는 폴리카보실란 고분자의 열분해를 통해 탄화규소를 제조하고 이를 모재에 코팅하여 탄화규소 버퍼층의 형성을 시도하였다. 탄화규소 버퍼층의 제조는 자일렌에 폴리카보실란을 10, 20, 30, 40, 50wt% 첨가하여 고분자 코팅용액을 제조하고 이를 모재에 딥코팅한 후 1200℃에서 열처리 통하여 탄화규소 버퍼층을 제조하였다. 전자현미경을 통하여 표면과 미세구조를 관찰하고, 성분분석, 경도측정 등의 특성평가를 실시하였다. |
| 저자 | 김행만, 윤존도, 강경훈, 김준수, 이홍림 |
| 소속 | 경남대 |
| 키워드 | polycarbosilane; PCS; 딥코팅; SiC 코팅; 탄화규소 코팅 |
