화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주)
권호 23권 1호, p.259
발표분야 공정시스템
제목 Si 증착 최적화에 모노실란을 사용한 지멘스 공법
초록 세계적으로 에너지 문제는 매년 대두되고 있다. 그래서 청정, 그린에너지에 대한 관심은 나날이 높아지고 있는데 이 중 태양광 산업이 주목받고 있다. 태양광 연구 중에서도 박막의 실리콘에 대한 연구이다. 본 연구는 지멘스 공법을 이용하여 Rod 형태의 폴리실리콘을 배스 방식으로 생산하게 된다. 폴리실리콘의 원료는 모노실란을 사용하며 rod 내에 모노실란이 투입량을 조절하여 효과적인 생산을 기대하려 한다. 
지멘스 공정은 투자비가 많이 들어가므로 본 연구는 반응을 시뮬레이션한다. 시뮬레이션을 통해 우선 모노실란의 투입량을 조절하여 rod에 증착되는 폴리실리콘의 형상을 확인한다. 모노실란의 투입량을 조절하면서 최적의 폴리실리콘을 증착 시키는 것을 확인함으로써 고품질의 폴리실리콘을 생산할 수 있는 기대효과를 높일 수 있다.

 
저자 정현준, 정재학, 조민제, 조나영, 채강호
소속 영남대
키워드 공정최적화
E-Mail jhjung@ynu.ac.kr
원문파일 초록 보기