| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (05/18 ~ 05/20, 여수 디오션리조트 ) |
| 권호 | 22권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | 폴리실리콘 메탈 불순물 농도가 실리콘 잉곳 특성에 미치는 영향 |
| 초록 | 실리콘 잉곳 원료인 폴리실리콘의 메탈 불순물 함량을 ICP-MS를 이용하여 측정하였다. 다양한 메탈 불순물 농도의 폴리실리콘을 각각 성장시켜 생산하였다. 이 실리콘 잉곳의 품질특성(MCLT)을 비교하여 폴리실리콘 메탈 불순물이 실리콘 잉곳 품질특성에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. 그 결과 메탈 불순물 함량이 낮은 폴리실리콘을 성장시킨 실리콘 잉곳의 MCLT가 더 높게 측정되었다. 또한 폴리실리콘에 포함된 메탈 종류에 따라 실리콘 잉곳 품질특성에 미치는 영향이 서로 차이가 있음을 확인하였다. |
| 저자 | 조용래1, 육영진1, 이윤호1, 백성선2 |
| 소속 | 1웅진에너지 (연), 2웅진에너지 |
| 키워드 | <P>폴리실리콘; 잉곳; 웨이퍼; 불순물; ICP-MS; </P> |
