| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 | CVD 기법을 이용한 Graphene 합성 시 Quartz tube 내 증착된 Cu로 인한 Graphene 형태 변화 |
| 초록 | Quartz tube를 사용하는 CVD 기법을 통한 구리 호일 위 graphene 박막 제작은 박막 제작 후 고온에 노출되었던 구리 호일의 승화로 인해 tube 내에 구리원자의 증착이 일어난다. 수소 3 sccm : 메탄 1.5 sccm 과 공정중 압력 11 mTorr 및 증착시간 5분으로 동일하게 하여, 구리가 증착된 quartz tube 와 증착되지 않은 quartz tube 각각의 만들어진 graphene의 형태와 크기를 비교하여 발표하고자 한다. |
| 저자 | 태청천, 안하영, 정종율 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | Graphene; Quartz tube; CVD |
