학회 |
한국재료학회 |
학술대회 |
2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
권호 |
15권 2호 |
발표분야 |
A. Information Processing and Sensing(정보소재 및 센서) |
제목 |
PbO 산화막을 이용한 누설전류 저감 효과에 대한 연구 |
초록 |
기존 디지털 엑스선 검출기 분야 중 직접방식 엑스선 검출기에는 비정질 셀레늄 기반의 엑스선 검출기가 상용화되어 있다. 비정질 셀레늄 기반의 검출기는 높은 구동 전력을 인가 해주어야 하기 때문에 검출기의 수명이 짧고, 엑스선 민감도가 떨어지는 등의 많은 문제점들을 보이고 있다. 또한 PVD 증착법을 이용하여 증착하기 때문에 높은 열과 오랜 증착 시간에 의한 어려운 제작 공정으로 수율이 떨어지는 문제점을 가지고 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로 PIB방법을 이용한 많은 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 PIB방법을 이용하여 고효율의 엑스선 변환층을 제작함으로서 기존의 PVD증착법이가지는 오랜 증착 시간, 낮은 수율 등의 여러 단점을 보완하면서도 엑스선에 대한 높은 민감도를 획득 하고자 한다. 뿐만 아니라 본 연구에서는 기존 PIB방법이 가지는 높은 누설전류와 불균일한 표면형성 등의 단점을 보완하기 위해 스핀코팅 방법이 추가 적용되어 누설전류를 줄이는 연구가 수행되었다. 본 연구에서는 높은 민감도를 가지는 광도전체(HgI2, PbI2)를 스크린프린트 방식으로 물질을 형성 한 후 스핀코팅 방법을 이용하여 7um의 얇은 PbO산화층을 생성하였다. 그 결과 기존에 측정되었던 HgI2와 PbI2 상부에 산화막을 형성시킴으로 누설전류 저감 효과를 얻을 수 있었으며, 스핀코팅 방법을 이용함으로 검출 물질 표면 또한 높은 균일성 가지는 효과를 얻을 수 있었다. |
저자 |
전승표, 오경민, 김영빈, 이상훈, 윤민석, 박혜진, 남상희
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소속 |
인제대 |
키워드 |
PbO; 산화막; 광도전체; PIB
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