| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 |
25권 1호 |
| 발표분야 |
포스터-에너지저장·변환 |
| 제목 |
화학증착소재(precursor)의 열분해에 따른 특성 연구 |
| 초록 |
최근 에너지 관련 산업은 향후 에너지 국산화 및 글로벌 경쟁력을 갖추기 위해 관심이 집중되고 있다. 수소연료전지, 태양전지, 그리고 리튬이온전지로 대표되는 에너지저장∙변환 장치의 다양한 화학증착소재에 대한 연구가 가장 시급한 상황이다. 이에 소재의 물성 및 박막특성을 평가하고, 우수한 특성의 박막을 증착하기 위한 ALD 공정과 관련된 많은 연구가 진행 중이다. 본 연구에서는 Zirconium 계열 화학증착소재의 열에너지에 의한 분해와 물성 변화를 철저히 평가하기 위해 제작된 VCR fitting을 사용하여 열처리를 수행하였고, 열처리 전후 증기압 및 TG 측정을 통해 물성 변화를 확인하였다. ALD 공정을 사용해 증착한 박막의 열분해에 따른 박막특성 변화를 평가하였다. 따라서 향후 고효율 에너지 경쟁력을 갖추기 위한 소재의 최적화 및 열안정성 평가에 도움을 줄 수 있을 것이라 기대된다. |
| 저자 |
이수연1, 최은미1, 맹선정1, 김하영1, 박지원1, 허영우2, 윤주영1
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| 소속 |
1한국표준과학(연), 2경북대 |
| 키워드 |
화학증착소재(precursor); 원자층증착(ALD); 열분해
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